我国激光干涉测量技术取得重大突破 -ag真人国际官网

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领秀激光综合报道：近日，由清华大学李岩研究团队研发的“高测速多轴高分辨率激光干涉测量技术与仪器”项目，取得重大突破，攻克一系列关键技术瓶颈，形成了测量新方法、系统及仪器。据了解，激光干涉测量是实现超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一，在许多领域都有极其重要的作用。

据李主任介绍，项目实现了从干涉仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨率激光干涉测量系统。目前，该项目团队所研发的光刻机用双频激光干涉仪系统已经应用到了我国自研光刻机工件台样机研发过程中，累计应用50余台套。该研究成果满足了光刻机双工件台样机的精密测量需求，减轻了对国外高端干涉仪的依赖，降低了其产品对我国出口限制所造成的研发风险，对保障我国光刻机双工件台研发的顺利实施起到了积极作用。

值得一提的还有，在过去，我国没有掌握研发高端激光干涉测量仪器的核心技术，但该项目的成功一举打破了外国对我国高端激光干涉测量仪器的限制和垄断，丰富了我国激光干涉测量理论与技术，这意味着往后我国高端装备和仪器的研发将拥有性能稳定且不受制于外国的测量及溯源能力。